IT之家 12 月 11 日动静，Lam Research 泛林集团本地时间昨日对其打制的世界首款专为半导体系体例制设备维护打制的协做机械人（IT之家注：Collaborative Robot）Dextro 进行了引见，并暗示该型机械人Dextro协做机械人是一种位于推车上的可挪动机械臂安拆，由制制手艺人员或工程师进行节制，借帮各类“手部东西”能很好地完成三项环节设备维护使命：无需拆卸下腔室即可从动化去除腔室侧壁上的任何聚合物堆积，以往人类需要配备沉型呼吸防护设备才能施行此类使命。提拔工艺全体切确度，削减劳动力需求、降低华侈、缩短停机，从而最终提高晶圆厂产量。泛林暗示单个 Dextro 协做机械人能为 50 到 100 个泛林东西腔室供给办事，目前已可用于旗下 Flex G / H 系列介电刻蚀东西的支撑工做，当制制设备需要维护时，必需快速高效地完成工做，以避免耽误东西停机时间和华侈成本。 Dextro 的无差错维护有帮于鞭策出产正在可变性和产量上的改良。